金融界 2024 年 8 月 14 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，合肥芯碁微电子配备股份有限公司请求一项名为“用于激光直写光刻机的主动聚集控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质“，公开号 CN7.5 ，请求日期为 2024 年 5 月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种用于激光直写光刻机的主动聚集控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质，用于激光直写光刻机的主动聚集控制方法包含：获取当时时间激光直写光刻机的物镜外表到待曝光版面的实践间隔；依据实践间隔和物镜处于焦面方位时物镜外表到待曝光版面的间隔取得当时时间的物镜的离焦量；依据当时时间的物镜的离焦量和物镜的前史离焦量取得当时时间的下一时间的物镜的离焦量；以及依据当时时间的下一时间的物镜的离焦量调理物镜的方位。选用该方法可以防止激光直写光刻机在主动聚集时推迟的问题，一起也能防止激光直写光刻机产生离焦的问题。

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