证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现苏大维格(300331)新取得一项发明专利授权,专利名为“一种光刻设备及光刻办法”,专利申请号为CN4.X,授权日为2025年4月22日。
专利摘要:本发明揭露了一种光刻设备,包含激光输出设备、光路挑选设备、检测模块和光刻模块,所述激光输出设备发射激光至所述光路挑选设备,所述光路挑选设备挑选将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块。本发明还揭露了一种光刻办法,使用上述光刻设备做光刻。经过所述光路挑选设备挑选将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块,以使光刻设备能实时检测曝光能量,确保了光刻作用,提高了光刻功率,提升了产品的良品率。
今年以来苏大维格新取得专利授权20个,较去年同期增加了300%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研制方面投入了6693.39万元,同比增11.68%。
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